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2018 대한미국 산업기술 R&D 대전 전시회 참가
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작성자 최고관리자 댓글 0건 조회 6,526회 작성일 19-09-30 17:28본문
참가 품목 : 100 ㎛ 스팟 광대역 분광 타원계(Ellipsometer)
반도체 박막 공정의 결과를 검증할 수 있는 마이크로 스팟을 갖는 광대역 분광타원계
제품 설명 : 반도체 박막 공정을 계측하는 광계측기는 대당 50억원을 넘지만 전량 수입에 의존하고 있음.
광계측기의 국산화를 위하여 개발.
국내최초 반도체 공정 계측용 분광 타원계 기술을 개발.
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